中国等离子体射频电源系统行业在政策持续加持与下游高端制造旺盛需求的带动下，2024 年维持较快增长态势，但核心技术层面的 “卡脖子” 问题依旧突出。高频功率芯片、复杂动态匹配算法等关键环节，与国际顶尖水平仍存在技术差距，使得高端市场（尤其是半导体 14nm 及以下制程、新型显示高世代线等领域）进口依赖度仍较高，国产化率较低。国际巨头凭借长期技术积累和客户资源优势，在高端市场占据主导份额；而国内龙头企业正加速产品迭代，2024 年多款中高端产品通过头部客户验证，逐步切入中高端供应链，国产替代进程明显提速。
在此背景下，弗若斯特沙利文（Frost & Sullivan，简称 “沙利文”）密切追踪中国等离子体射频电源的发展现状与行业新趋势，正式发布2024 年《中国等离子体射频电源系统行业独立市场研究》（以下简称 “报告”）。报告指出，未来等离子体射频电源行业将聚焦 “技术攻坚 + 场景扩容” 双向突破。技术端，高频高功率电源、全固态化集成电源以及基于 AI 的智能匹配算法等方向的研发，有望逐步打破海外技术封锁，为半导体先进制程、高效光伏电池等核心领域的设备自主化提供关键支撑；应用端，医疗、航天等新兴场景需求快速释放，叠加政策推动的产业链协同创新，将进一步打开市场成长空间。国产企业需持续强化核心技术攻关，深化与垂直场景的融合程度，推动行业向高附加值领域转型升级。
